МШПС-2.0К

Технические характеристики

Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К

Также это изделие может называться: МШПС2.0К, МШПС 2.0 К, mshps-2.0k, mshps2.0k, mshps 2.0k.

МШПС-2.0К представляет собой меру ширины и периода специальную, предназначенную для передачи размера единицы длины и калибровки оптических, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, а также других средств измерений малой длины.

Сфера применения данного изделия включает микро-, опто-, наноэлектронику, нанотехнологии, микромеханику, фармацевтику, микробиологию, производство полимеров, генную инженерию, создание наноструктурных материалов, а также оборудование государственных и метрологических служб.

Технические характеристики МШПС-2.0К:

— Диапазон передачи размера единицы длины: от 10-9 м до 10-4 м.

— Номинальное значение шага шаговой структуры меры: 2 мкм.

Калибровка РЭМ (5 мин.):

— Увеличение;

— Диаметр электронного зонда.

Калибровка АСМ (5 мин.):

— Цена деления по X-, Y-, Z-координатам;

— Радиус острия кантилевера;

— Линейность и ортогональность осей сканирования.

— Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры: ±0,05 мкм.

— Диапазоны значений ширины, высоты и проекции боковой стенки выступов.

— Неравномерность ширины верхнего основания выступов: не более 5 нм.

— Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения размеров.

— Геометрическая форма элемента рельефа шаговой структуры.

— Габаритные размеры меры МШПС-2.0К без оправы: 10×10×0,5 мм.

— Масса меры с оправой: не более 0,009 кг.

Условия эксплуатации:

— Температура окружающего воздуха: от +17° С до +23° С.

— Относительная влажность: от 50% до 80%.

— Атмосферное давление: от 96 Па до 104 Па.

Изделие МШПС-2.0К представляет собой совокупность пяти групп рельефных шаговых структур на поверхности квадратной кремниевой монокристаллической пластины с маркерными линиями и цифрами для удобства использования и нахождения измеряемого элемента рельефа.